東莞金屬激光切割加工經(jīng)過(guò)聚焦后照射到材料上，使被切割材料溫度急速升高，然后使之熔化或氣化。隨著激光與被切割材料的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，在切割材料上形成切縫從而達(dá)到切割的目的。在切割晶圓時(shí)通常選擇紫外激光作為切割光源，與YAG激光和CO2激光通過(guò)熱效應(yīng)來(lái)切割不同，紫外激光直接破壞被加工材料的化學(xué)鍵，從而達(dá)到切割目的，
 那么在‘冷”過(guò)程，熱影響區(qū)域小;另外紫外激光的波長(zhǎng)短、能力集中且切割寬度小，因此在精密切割和微加工領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。在實(shí)際應(yīng)用中激光切割加工晶圓有兩種，一是劃片切割，即切割深度只需硅片厚度的1/3-1/4，由于應(yīng)力作用只需稍加外力，晶圓就可以很容易地沿切縫裂開(kāi);二是穿透切割，要求將晶圓切穿并分離。東莞金屬激光切割加工晶圓切割首先是晶圓黏片，它是在晶圓背面上黏性薄膜并用鋼制框架支撐，然后進(jìn)行切割.